潤滑油被混入內部，氟利昂泄漏，就會帶走潤滑油，認真觀察冷凍干燥機內部。若有片狀油污帶，很可能是漏點。檢查內部毛細管銅管，＜6mm的細銅管和工藝管是否破裂。
    在一定壓力下充入惰性氣體，確認泄漏點。條件允許，可以用氮氣保證壓力。氣態氟利昂可以不充氮氣。禁止用氧氣保壓、查漏，制冷劑壓力表=0。氟泄漏時，找到泄漏點，保壓時逐漸加氣，一邊加壓一邊觀察冷凍干燥機的制冷劑表壓力（小m3只有低壓制冷劑表，＞15m3有高壓/低壓兩個制冷劑表），加壓到0.2Mpa2.0kgf時暫時停止，聽冷凍干燥機內部是否有漏氣。有，根據聲音找到漏點。沒有，繼續加壓至0.4-0.5MPa。用海綿蘸肥皂水，檢查可疑地方，檢查內部所有連接螺母（銅螺母）。
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